| Material | SS 304 |
|---|---|
| Entwurf Temp | 1000c |
| Gasflussregelgenauigkeit | 1%SP |
| Flüssige Flusssatzpräzision | 1.5%FS |
| Druckregelgenauigkeit | 0.02MPa |
| Material | SS 304 |
|---|---|
| Entwurf Temp | 1000c |
| Gasflussregelgenauigkeit | 1%SP |
| Flüssige Flusssatzpräzision | 1.5%FS |
| Druckregelgenauigkeit | 0.02MPa |
| Material | SS 304 |
|---|---|
| Entwurf Temp | 1000c |
| Gasflussregelgenauigkeit | 1%SP |
| Flüssige Flusssatzpräzision | 1.5%FS |
| Druckregelgenauigkeit | 0.02MPa |
| Material | SS304 |
|---|---|
| Trägergas | Er, AR, N2, H2 |
| Trägergasreinheit | >99,995% |
| Detektor | Mikro-TCD-Detektor |
| Steuermethode | Automatische Kontrolle der Software |
| Material | SS 304 |
|---|---|
| Entwurf Temp | 1000c |
| Gasflussregelgenauigkeit | 1%SP |
| Flüssige Flusssatzpräzision | 1.5%FS |
| Druckregelgenauigkeit | 0.02MPa |
| Material | SS 304 |
|---|---|
| Entwurf Temp | 1000c |
| Gasflussregelgenauigkeit | 1%SP |
| Flüssige Flusssatzpräzision | 1.5%FS |
| Druckregelgenauigkeit | 0.02MPa |
| Material | SS 304 |
|---|---|
| Entwurf Temp | 1000c |
| Gasflussregelgenauigkeit | 1%SP |
| Flüssige Flusssatzpräzision | 1.5%FS |
| Druckregelgenauigkeit | 0.02MPa |
